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 随着智能手机的飞速发展，智能手机越做越薄，相应的手机玻璃盖板也是越来越薄。0.1—1.1mm厚度的玻璃为超薄玻璃，它的优势在于不仅厚度薄，而且透光率强，化学稳定性好，可镀膜性好等很多特殊性能，比如说一般玻璃也具有的高透明性、电绝缘性、耐热性、化学稳定性和抗气性等，还具有质量轻、耐高温、耐冲击、柔性的特点。因此在显示器面板。ITO导电膜玻璃基板、柔性显示基板、智能表面、OLED照明和柔性太阳能电池等领域具有广泛的应用前景，将为下一代电子产品带来外观以及形式的变革。

玻璃越薄，对其平面度、厚度、翘曲度要求也就非常的高。那么如何针对超薄玻玻实现高精准快速测量呢？

超薄玻璃因其薄软，自重弯曲严重，仪光光学生产的平面度测量仪采用全承载，利用高精度多激光头，进行连续扫描测量。从而实现了高精度、高稳定性、的平面度、厚度及翘曲度测量。

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由于侧重点不同，各国制造商和计量标准部门对三坐标测量机提出了若干份计量标准。在各国的标准中，所推荐使用的标准器也是不完全相同，可以根据测量目的和要求加以选择。

标准三坐标测量机所用的标准器种类繁多，二次元影像仪价格，在周期校准中，通常采用的标准器是双屏激光干涉仪、量块、步距规等。在中间检查中通常采用的标准器是量块、步距规、球板、孔板、标准球、球棒、环规、3D标准器等。下面介绍常用的三种标准器。

一、量块

量块是对三坐标测量仪进行示值误差校准时常用的实物标准器。它的优点是使用广泛、安装操作简便、溯源能力强、准确度高；缺点是测量时间长、大测量长度只有1m。

用量块测量时，需将选取的不同长度的量块安装在专用支架上，使量块的方向与要测量的轴或空间方向一致。专用支架上有可调节的支撑点，安装量块时应该注意将量块支承在离两端0.2113L（L为量块长度）的支承位置上，以保证量块的两个测量面相互平行。

测量结果中应引入标准量块修正量和温度偏离20℃时的温度修正。

二、球板

标准规范中引入了球板作为长度测量不确定度评 价的一种可选择的工具。它的优点是操作简便、快速，溯源能力强，球板是二维标准器，可获得比一维标准器更丰富的信息，如对25个球的球板进行测量，可以得 到300个长度测量值，对25个球的球板进行两个相交位置的测量将得到600个测量数据。通过球心距的测量可以计算得到三坐标测量机所有几何参数。球板的 校准方法并不复杂，但校准的不确定度比量块差，同时球板的大和小长度尺寸受到限制。球板对较低准确度的中小型坐标测量机是可选的标准器。

使用球板作为标准器，是通过计算点间距离进行长度测量示值误差的校准。

常用的球板为5行x5列，240mmx240mm，332mmx332mm，532mmx532mm。大的球板可制成1mx1m，有17行x17列标准球。球板为钢制材料，标准球为陶瓷材料制成，通过液氮冷却技术将陶瓷卡紧固定。标准球在球板的两面均可探测到。

三、双频激光干涉仪

双频激光干涉仪是一种高准确度、便携式的干涉测量仪器。由于其信号的抗干扰能力较强，结构紧凑、信号稳定，开县影像仪，不仅可在实验室条件下使用，也适用于车间现场， 其测量长度可达十几米乃至几十米。此外，它的使用范围也广泛，除测长外，如配以相应的光学附件，还可以进行直线度、小角度、平面度、速度、平行度的测量， 也可以用来校准三坐标测量机三个运动方向的垂直度等。是精密机械、船舶和飞机制造业中大尺寸精密测量的不可缺少的精密仪器，技术相当成熟。

双频激光干涉仪的特点是测量准确度高，仪器固有系统误差仅 为0.1Lum（L为测量长度，单位是m），测量范围大，测量数据丰富，适合测量三坐标测量机各项几何误差。但设备昂贵需要专门配备，技术性强，二维坐标测量仪影像仪搬迁，对操作人 员要求高，较费时，并且对测量任务不能直接溯源，较适合三坐标测量机的出厂验收检测和对大型三坐标测量机示值误差的附加校准。

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    影像测量仪也称视频测量仪，简称“影像仪”，其结构和测量对象与测量投影仪相似。有些影像仪将液晶屏搬到主机上，外观几乎和投影仪没有区别（图1）。

      影像仪自上世纪末诞生以来，产品发展很快，挤占了投影仪的部分销售市场，那么发展下去，影像仪将取代投影仪吗？

影像仪先通光学系统将物体的像成在CCD上，再转换成视频图像，显示在液晶屏上。因CCD面阵尺寸的限制，影像仪屏幕的视场较小，加之，屏面材质和影像倍率不是整数等原因，不能实现屏上测量功能。

    图3的测量对象，如果采用工作台坐标测量，由于榫头形状由9条直线和8段圆弧组成，需要采集几十个坐标点，通过软件计算出每一段直线和圆弧的位置和半径，逐个元素进行数据比较，不仅操作烦琐，效率低，而且不如综合评定效果直观。

 但是影像仪比投影仪有下列优点：采用低功率照明，无需冷却装置并且节能；很容易做到高倍率，善于观察细节。特别在反射照明和高倍率时，影像的照度比投影仪要高得多，因此，反射影像更加清晰。此外，二次元影像仪维护保养，可实现图像存储。

       综上所述，影像仪尚不能完全取代投影仪。投影仪与影像仪的市场竞争，应充分发挥投影仪的屏上测量功能和大尺寸投影屏的优势。

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